采用 Simco-Ion 调制脉冲 (MP) 技术的X新离子棒现在可通过 Novx 监测和反馈系统提供主动反馈
和控制。型号 5645 AeroBar 提供行业X的平衡电离性能，设计用于半导体制程应用、特别是包
括X新 3D 技术的X封装应用，符合快速消散静电、和X而低摆幅的平衡电压的要求。X的
调制脉冲技术，让 AeroBar离子棒 可放置在近至距晶圆 150 mm 的位置，近距离控制对微细的技
术.节点至关重要。精细调整结合X洁净的 SCSi 静电针，5645 MP 棒的洁净度能X越 ISO 14644-1
Class 1，符合适用小于 10 nm 微粒的延伸 ISO Class 1 水平*
型号 5645 离子棒与 Novx 监测和反馈系统连接安装，可以维持 ±5V 以内的X平衡电压。离子棒
能容易设置和微调参数 - 输出电压，脉冲频率，正负平衡，以符合不同环境和产品对静电的敏感要
求。处于层流风较弱的制程，可选吹气辅助功能以能加快离子的推送，得到更快的消散时间和有更
远的工作距离。型号 5645 AeroBar 有 14 种长度 从 350 mm 至 2,350 mm 可选。
SIMCO-ION 5645离子棒特点以及X点
• ±5V 配置 Novx 监测和反馈系统
• 提供主动反馈/控制，对静电防护实现X稳定的平衡电压
• 采用 SCSi 静电针兼容 ISO 14644-1 Class 1和延伸ISO Class 1；采用 Ti 静电针兼容 ISO 14644-1 Class 3
• 兼容所有元件的技术节点
• 使用广泛调整的软件集中管理电源和控制• 无需在安装位置手动调整
• 传感器输入、FMS 接口、警报、电源和通信等功能设置在离子棒的同一端
• 设计整体易用和长维护周期
设计特点
简洁的界面：100% 远程控制，通过软件的集中控制功能轻松进行调整。灵活方便：选用压接式耦合连接的 CDA 接头，可以连接快速断
开、挂钩、转弯等通用接管配件，便于使用。更好的线缆管理：电源/通信、24 VDC 接口和 Novx 接口功能
设置在同一棒端，能更好地规划和管控线缆。
空气辅助选项：对于层流风比较弱的环境，采用空气辅助可以帮助加快离子输送，在更长距离内提供更快的消散时间和性能。
使用 MP 控制软件简易安装只需插入 24 VDC 电源即可快速安装型号 5645 AeroBar。MP
控制软件可管控单棒或多棒（X多 8 根）。用户可以透过简单易用的 MP 控制软件微调离子棒的控制参数，以X化所需的平衡电
压、电压摆幅和消散时间，满足操作要求。信号和电源的接线盒上的警报连接能输出作 FMS 监控。
电源分配盒
选配的型号 5601 电源分配盒和 MP 控制软件可进行通信控制和
集中电源供应X多 8 根 型号 5645 AeroBars。
