試樣中被測(cè)元素的原子受到來自于X射線管的一次X射線激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，利用高性能（能量分辨率<160eV）的X 射線硅漂移SDD檢測(cè)器探測(cè)試樣中被測(cè)元素所發(fā)出的各種能量的特征X 射線

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