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參考和測(cè)量光標(biāo),用于缺陷定量和生成報(bào)告。可對(duì)A掃描、B掃描、S掃描和C掃描進(jìn)行交互式分析,缺陷分析更為精確。所有的測(cè)量結(jié)果都可以在線(xiàn)得到,也可以保存完整的A掃描之后重新調(diào)出離線(xiàn)分析。
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