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離子蝕刻機 10-M / -5:適合小規模量產使用和實驗室研究基片尺寸直徑 6英寸 X 1片樣品臺直接冷卻,單獨冷卻離子源10cm 考夫曼離子源電源可更換為國內電源離子蝕刻機
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