大型火電廠、核電站的系統龐大、管路錯綜復雜，從可見的凝汽器系統、油路系統到不可見的真空系統，密封不良現象時有發生。這些系統的泄漏小則降低機組的運行經濟性，大則給機組的運行帶來隱患。

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合肥迪泰ZXL-830D型是一款配置無油干泵的氦質譜檢漏儀。適用于對高清潔的真空設備進行檢漏。

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1、漏率指示范圍：10 -10~-10-7、10-9~-10-6、10-8~-10-5 2、最小可檢漏率（對氦）：＜5x10-11pa?m³

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