1、 可獲得150Pa以上高真空，且在高真空狀態下，抽速降幅小。 2、 以無油自潤滑為材料，可獲得潔凈真空；故被大量應用于制藥真空系統。

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延長模具使用壽命，保護工具，排屑容易。

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該機組可獲得150Pa以上高真空，且在高真空狀態下抽速降幅小，可在排氣口安裝尾氣收集裝置，收集無法冷凝和無壓縮凝固的氣體，如：環戌二烯、苯、甲苯、醇類等由其低沸點難收集而常為誤排照成環境污染。

泵串聯而成的真空機組。廣泛應用于電子、真空鍍膜、化纖、冶金、熱處理、焊接、化工等行業的真空蒸鎦、結晶、干燥、聚脂切片等過程。